材料材料纯度之外:批次一致性如何进入晶圆厂采购 KPI芯师爷研究组·2026年5月31日·杉川电子材料采购视角 当先进制程窗口变窄,材料从「消耗品」变成 工艺稳定性的放大器。 建议 用数据接口把 COA 与机台参数闭环,而不是停留在邮件附件里。